(1) Tratamento pré-PVD, incluindo limpeza de itens e pré-tratamento.Os métodos de limpeza específicos incluem limpeza com detergente, limpeza com solvente químico, limpeza ultrassônica e limpeza com bombardeio de íons.
(2) Coloque-os no forno, incluindo limpeza da câmara de vácuo e acessórios, e a instalação, comissionamento e conexão de itens e acessórios.
(3) Aspiração, geralmente bombeando para 6,6Pa ou mais, abra a frente da bomba de difusão mais cedo para manter a bomba de vácuo e aquecer a bomba de difusão.Após o pré-aquecimento ser suficiente, a válvula alta é aberta e bombeada para um vácuo de meio fundo de 6 x 10-3 Pa com uma bomba de difusão.
(4) Assar, assar os itens na temperatura desejada.
(5) bombardeio de íons, o vácuo é geralmente de 10 Pa a 10-1 Pa, a tensão de bombardeio de íons é uma alta tensão negativa de 200 V a 1 KV, e o tempo de ataque é de 15 min a 30 min.
(6) Pré-fusão, ajustando a corrente para pré-fundir o material, ajustando a corrente para pré-fundir o chapeamento e desgaseificando por 1min ~ 2min.Deposição evaporante.A corrente de evaporação é ajustada conforme necessário até que o tempo de deposição desejado termine.Resfriamento, os itens são resfriados a uma determinada temperatura na câmara de vácuo.
(7) Depois que os itens são retirados, a câmara de vácuo é fechada, o vácuo é evacuado para l × 10-1Pa e a bomba de difusão é resfriada até a temperatura permitida antes que a bomba de manutenção e a água de resfriamento possam ser desligadas.